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TEL 저온식각이 왜 혁명이냐면 (갑자기 초혁신 터졌다는 반도체업계 근황)
저온식각 일명 cryo etching은 201X년대부터 낸드 기술이 2D 한계에 봉착했을 때 꿈의 기술로 각광받았음그런데 일단 초저온 가스인 액화질소나 산소가 비싸고 공정 컨트롤의 난이도(극저온 칠러비용, 가스혼합비 등) 때문에 다들 개발에 성공하지 못했음그 와중에 TEL이 이번에 해당기술 개발에 성공해서 들고나온건데저온식각이 얼마나 쩌는지 알아보자식각 효율을 나타내는 숫자인 Etch Rate(줄여서 E/R)라는게 있음E/R = 식각 깊이(Å)/공정 시간(m)이라 얼마나 깊이 빠르게 식각을 쳐내느냐를 나타내는 E/R은 쓰루풋이 중요한 반도체 공정에서 중요한 숫자임왼쪽 파이차트: 일반 플라즈마 식각 가스 혼합비중간 파이차트: 연구단계의 저온식각 가스 혼합비 (1세대 저온식각)오른쪽 파이차트: TEL에서 완성한 저온식각 공정 장비 가스혼합비일반적인 식각보다 중간으로 가면 E/R이 2배가 되는데TEL은 중간과정보다 E/R 2배의 개쩌는 공정을 개발해냄E/R이 4배라는 말은 이론적으로 일반 낸드식각 공정보다 최대 4배로 빠르게 같은 깊이를 식각할 수 있다 or 같은 시간에 4배 더 깊이 식각 할 수 있다는 의미실제로는 식각 속도는 기존 공정보다 두배 빠르고 식각 깊이를 25% 더 깊게 에칭할 수 있다 하더라TEL의 주장에 따르면 10um 에칭하는데 33분이 소요되었으며 84% 탄소발자국 감소효과가 있었다고 함통상적인 플라즈마 공정은 7-8um 에칭하는데 1시간 남짓 걸림그림으로 보자면낸드가 이렇게 생겼는데 채널이 더 깊고 빨리 파짐 -> 낸드 단수 높히는데 예전에는 플라즈마 써서 고단화에 애 먹었는데 고단화 비교적 난이도 내려갈 예정TEL 자료 10um 뚫은 인증 + 깨끗하게 뚫린 바닥 사진 + 기술 세부자료불화수소 메인이라 탄소가스 사용절감으로 인한 ESG 점수는 덤결국 쓰루풋 포함 생산성 방면에서 저온식각이 고단 낸드 적층시 플라즈마 식각 대비 우위를 점하고 있기 때문에 현재 낸드식각 주류인 플라즈마 식각장비가 메인인 램리서치나 어플라이드는 TEL에게 고적층 낸드로 갈수록 마켓쉐어 많이 내줄 수 밖에 없다고 생각함. 좀더 자세한 이야기는 이 분이 글 잘 써놨더라https://blog.naver.com/timesight/223163209160 극저온 식각(Etching)의 도입 : NAND 식각 시장에서 가져올 큰 변화극저온 식각 장비의 개발 도쿄일렉트론은 23.06.09에 극저온 식각 장비를 공식적으로 발표하였습니다. &quo...blog.naver.com
작성자 : 방자_올돌골고정닉
정성글) 히틀러는 어떻게 정권을 장악했나 -1-
아돌프 히틀러 하면 대중적인 이미지는 ‘민주주의의 결함’, ‘민주적으로 선출된 독재자’라는 것이다.지금도 한국의 여러 TV 교양 프로그램에선 이런 시각을 가지고 대중들에게 이 사실을 전파하며, 그 이전 바이마르 공화국의 복잡한 정치 상황은 도외시 한다.히틀러 같은 독재자는 우리가 과연 그런 자들에게 표를 던지지 않기만 하면 절대 탄생할 리 없는 ‘민주주의의 이단아’일까?이 글은 실제 독일에서 바이마르 공화국의 역사를 전공하여 박사학위를 취득한 유튜버 "함께하는 세계사"님의 영상을 보고 제작되었다.1918년, 독일제국의 상황은 최악 그 자체였다. 4년을 이어간 1차 세계 대전으로 인해 독일에서 200만 넘는 군인들이 죽었고, 상이군인은 421만 명에 달했다.군부의 전시경제 체제로 인해 궁핍과 극심한 기아가 독일 전역에 만연했고, 이는 11월 혁명을 촉발시켰다.11월 혁명으로 인해 독일 전역은 공산 혁명을 외치는 극좌 공산당과 이를 막는다며 날뛰는 퇴역 군인 출신 극우 준군사조직들로 인해 심각한 진통을 겪었다.이 상황에서 바이마르에 모인 독일의 주요 정치인들이 새로운 헌법을 제정하고 공화국을 선포하며 혁명은 새로운 국면으로 접어들었다.우선 히틀러의 등장을 알기 위해서는 당시 바이마르 공화국의 헌법과 정치 체제를 살펴보아야 한다.일단 형식상으로 바이마르 헌법은 가장 진보적인 헌법이었다. 20세 이상 모든 성인에게 보통선거권을 부여했으며, 공화국이지만 비상사태를 제외하고 의회에 더 많은 권한이 있는, 이원집정부제~의원내각제 쯤 되는 국가였다.우선 행정부의 수장은 국민 직선으로 선출된 대통령으로 임기 7년에 중임이 가능했다. 대통령은 총리를 임명하고, 총리가 추천한 후보들 중에서 장관을 임명하여 내각을 구성하였다. 또한 의회해산권도 가지고 있어서 의회 해산 이후 6개월 이내에 재선거를 실시할 수 있었다.입법부는 국민 직선으로 선출되는 하원과 주의회에서 선출하는 상원이 있었는데, 하원의 경우 의원의 임기는 4년이었고 내각불신임을 결의할 수 있었다.행정부와 입법부의 관계 속에서 향후 가장 중요하게 작용했던 게 헌법 제48조였다. 이 조항에선 대통령이 ‘국가 비상사태’시 긴급명령을 통해 의회를 무시하고 통치권을 행사할 수 있었다.물론 바이마르 헌법을 처음 만든 사람들의 의도는 이 사람처럼 긴급조치를 남발하며 통치하라는 게 아니었을 것이다. 실제로 헌법에는 대통령 긴급명령 남발을 걱정했는지 의회 과반수가 이를 승인하지 않으면 그 즉시 효력을 잃는다고 적어두었다.행정부-입법부 다음으론 사법부가 있었는데, 당시 바이마르 공화국 사법부는 매우 보수적이고 엘리트주의적인 법관들이 장악하고 있었다. 실제 이들은 1923년 히틀러의 뮌헨 폭동에 대해 판결하며 ‘히틀러의 동기가 애국심이니까’라는 황당한 이유로 징역 5년만 선고했다.[당시 형법상 내란죄는 최소 징역 10년이고, 히틀러는 그마저 9개월만에 가석방된다.]이렇게 정치체제를 들여다보고 나면, 히틀러가 정권을 잡는 것에 두 가지 방법이 있음을 알 수 있다.1. 대통령 선거에 출마해 당선되기.2. 나치당이 하원에서 단독 과반, 혹은 연립하여 과반 차지.그러나 히틀러는 두 개 다 실패했다. 1932년 대통령 선거에서는 전직 육군 원수였던 전쟁영웅 파울 폰 힌덴부르크에게 패했고, 총선에서도 과반 확보에 매번 실패했다. 다른 정당들이 극단적인 주장만 일삼는 나치와 연정할 생각이 없었기 때문이었다. 히틀러가 정권을 잡는 과정을 이해할 때 필수적으로 짚고 넘어가야 할 인간이 바로 사진 속 인물, 파울 폰 힌덴부르크다.힌덴부르크는 1차 대전 당시 열세였던 동부전선의 타넨베르크 전투를 승리로 이끈 전쟁영웅으로, 이때의 명성에 기반해 대전 후반기 독일의 군부 독재자로 떠올랐다. 독일이 전쟁에서 패배한 뒤에도 명성은 대단해서 공화국 출범 이후 지속적으로 우익 세력이 대통령으로 모셔가려 했던 인물이었다.그러나 그는 전형적인 19세기 프로이센 군인으로 군주에 대한 충성과 극심한 보수성 말고는 딱히 공화국과 어울리지 않았다.계속 출마를 고사하던 힌덴부르크는 보수 정당들의 거듭된 요구에 1925년 대통령 선거에 출마, 대통령으로 당선된다. 초반 임기는 꽤 성공적으로 수행했지만 이내 대폭풍이 바이마르 공화국을 덮치게 된다.대공황이 독일에 닥쳐오자 힌덴부르크는 그 책임을 물어 연립내각을 이끌던 사민당 출신 총리 헤르만 뮐러를 경질하고 의회와 사전 협의 없이 중도 우익 정당인 중앙당 출신 하인리히 브뤼닝을 임명한다.내각 구성에 의회가 동의한 적이 없었으므로 브뤼닝의 입지는 위태로웠다. 그는 결국 힌덴부르크가 가진 무기인 ‘대통령 긴급명령’을 내세워 통치하려 했는데, 이마저도 의회가 번번이 무산시켰다.힌덴부르크는 화가 난 나머지 의회를 해산시키는 강수를 두게 된다. 국가 비상사태시에 최소한으로만 쓰라고 부여된 긴급명령권을 남발하고, 경제 위기 속에서 의회를 무책임하게 해산하는 태도는 정치 혼란을 폭발시켰다. 이후 갑자기 극좌와 극우 세력이 약진하기 시작한 것이다.이를 본 중도 좌파 성향의 주류 정당 사회민주당은 ‘행정부를 너무 견제해서 혼란만 가중시킨다! 차라리 그냥 놔두자!’며 의회 차원의 행정부 견제를 포기한다.정치혼란이 방치되자 나치당은 점점 세력을 키워나가 1932년 7월 총선에선 제1당이 된다. 그러나 이는 득표수로 보면 과반에 한참 못미치는 결과였고, 사민당을 포함한 다른 정당들이 나치와 연정을 거부하고 있었다.게다가 상술했듯 1932년 대통령 선거에서는 상성이 극악이었던 사민당이 히틀러를 낙선시키기 위해 후보도 내지 않고 힌덴부르크를 지지하면서 히틀러의 대권 도전은 물거품이 된다.이렇게 되자 나치당의 지지율은 점점 흔들렸다. 실제 당시 뉴욕 타임스는 ‘히틀러의 기회가 사라졌다’고 보도했으며, 1932년 11월에 열린 총선에선 다수당 지위는 지켜냈지만 34석이나 되는 의석을 털리며 위기를 맞이했다.이런 혼란 속에서 대통령 긴급명령만 남발하던 브뤼닝은 국민의 인기도 잃고, 뒤늦게 실시한 대공황 극복 정책이 기업계로부터 ‘너무 좌파적’이라는 비난을 받자 사임한다.그리고 공화국의 신임 총리로 프란츠 폰 파펜이 등장한다.1932년 6월, 힌덴부르크 대통령에 의해 총리로 임명된 프란츠 폰 파펜은 재계의 요구를 수용하여 실업자 복지 대책, 노동자 보호 대책들을 대거 후퇴시켰다. 이는 기업들에겐 만족스러운 결과였지만 국민 대부분은 이에 동의하지 않았고, 이는 정권 지지율 폭락으로 이어진다.이 상황에서 파펜은 나치와 연정하여 지지율을 흡수할 목적으로 히틀러에게 내각의 몇 자리를 제안했지만, 히틀러가 ‘총리 아니면 받지 않는다’며 초강수를 두는 바람에 무산된다.게다가 파펜 총리는 독일 공산당의 주도하에 치러진 내각 불신임안 상정에서 511:42라는 압도적 표차로 불신임을 맞게 된다.파펜은 의회 해산 후 선거 무기한 중단이라는 쿠테타를 일으키려 했고 평소 공화주의에 관심 없던 힌덴부르크도 이에 동의했으나, 국방장관이었던 쿠르트 폰 슐라이허가 내전이 발생할 수 있다며 반대하자 무산되었다.군대를 동원할 수 있던 슐라이허가 반대하자 힌덴부르크는 총리직을 슐라이허에게 넘겨준다. 이 일로 파펜과 슐라이허는 권력을 두고 투쟁을 벌이게 된다.힌덴부르크의 총애로 인해 개인적인 정치고문 역할을 지속하던 파펜은 슐라이허를 실각시키기 위해(+ 정권을 되찾기 위해) 힌덴부르크에게 히틀러를 총리로 임명할 것을 권유한다.그런데 의외로 힌덴부르크가 히틀러를 마음에 들어하지 않았다. 그 이유는 첫째로 힌덴부르크가 전통 보수 우익이라 신흥 세력인 나치를 곱게 보지 않았으며, 둘째로 감히 육군 상병 놈이 육군 원수인 자신과 맞먹으려 한다고 여겼기 때문이었다.파펜은 힌덴부르크를 설득하기 위해 ‘사실 히틀러는 얼굴마담으로 하고 우리가 그를 통제할 수 있다’고 주장했다. 이를 위해 파펜은 히틀러와 만나 ‘자본주의 경제체제를 변경하지 않는다’는 약속을 받아내어 재계의 지지를 얻었고, 부총리 자리에 본인이, 그리고 경제정책 전권은 그간 독일 보수세력을 대표해온 국가인민당 소속 후겐베르크에게 쥐어주기로 한다.슐라이허 총리는 파펜이 자신을 노린다는 걸 알고 있었기에 이를 막기 위해 나름대로 움직였다. 그도 히틀러를 제외하고 나치당 일부 세력과 연합하려 했고, 후겐베르크를 파펜과 떼어놓으려고 시도했으나 실패했다.군부에선 슐라이허에게 쿠테타를 일으킬 것을 요구했으나, 슐라이허는 거절하고 총리직에서 사임한다.그렇게 히틀러는 파펜을 비롯한 보수우익 세력의 야합에 의해 총리로 진출한다.-2편에서 계속-- dc official App
작성자 : ㅇㅇ고정닉
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