https://www.sandiegouniontribune.com/business/technology/sdut-cymer-completes-merger-with-asml-2013may30-story.html
2013년 5월 30일

네덜란드의 반도체 노광장비 생산업체 ASML, 미국 사이머 인수 완료

미국 캘리포니아주 샌디에이고 쏜민트에 본사가 위치한 반도체 노광장비 탑재용 복합 레이저 기기 생산업체인 사이머(Cymer). 네덜란드의 노광장비 업체인 ASML이 37억 달러에 인수를 완료했다.

작년 10월 처음 인수 계획이 발표되었을 때 예상했던 25억 달러보다 훨씬 높은 가격에 인수가 되었다.

사이머는 미국과 일본 등 전 세계에 걸쳐 약 1,300명의 직원을 거느리고 있으며 현재 100명을 더 채용 중에 있다. 단기간에 전체적인 근로자 수의 큰 변동은 없을 전망이다.

사이머 최고경영자(CEO)이자 공동 창업자인 로버트 애킨스는 더 미세한 공정으로 반도체를 만드는데 필수인 차세대 레이저 기기를 개발하기 위한 노력을 샌디에이고에서 계속할 방침이다.

또한 공동 창업자인 에드 브라운 사장은 현세대 레이저 기기 및 부속 장비를 만드는 사업부를 계속 이끌어 나갈 방침이다.

애킨스 최고경영자는 앞으로 직원들을 지금보다 더 채용할 것이라고 밝혔다.

ASML은 사이머를 인수하기 위해서 1주당 현금 20달러를 지불하고 자사 주식 1.15주를 사이머 1주와 교환했다. 목요일 종가 기준으로 사이머 주식은 주당 116달러로 평가됐다.

이번 인수로 사이머가 10년간 연구해온 EUV 레이저 기술 개발에 5억 달러 이상을 추가로 투자하여 개발 속도를 올릴 방침이다.

반도체 생산업체들은 EUV 기술 사용으로 무어의 법칙(집적 회로에 내장된 트랜지스터의 수가 2년마다 두 배로 증가한다는 반도체 산업계의 법칙)이 계속해서 유지될 것으로 기대를 하고 있다.

사이머가 개발을 진행해오고 있지만, EUV 기술은 생각 외로 어렵고 실제 구현에 비용이 많이 들어가는 것으로 알려지고 있다. 인텔 등 반도체 생산업체들은 차세대 공정 기술 개발에 속도를 내기 위해서 ASML에 41억 달러를 투자하기로 지난해 결정했었다.

사이머의 EUV 레이저 기기는 ASML의 차세대 노광장비에 핵심 부품이다. 그러나 완성하는 데 예상보다 시간이 오래 걸리고 있으며 이로 인해 반도체 생산업체들은 차선책으로 더블 패터닝을 비롯하여 효율이 떨어지는 다른 생산 기술을 사용해야 했다.

사이머와 ASML의 합병은 반도체 생산업체들이 EUV 기술을 사용하여, 더 미세한 공정으로 집적회로를 더 작게 만들 수 있는 길을 확실히 열어줄 것이라는 기대감을 가지게 만들었다.

애킨스 최고경영자는 사이머가 지닌 전문성과 노하우로 인해서 ASML이 자사를 EUV 기술개발에 없어서는 안 될 핵심 파트너로 선택했다면서 이번 인수로 차세대 반도체 생산 기술 개발에서 ASML의 승리를 확신한다고 강조했다.

오늘날 가장 발전된 칩은 실리콘 다이 위에 있는 트랜지스터들 사이의 거리가 매우 좁다. 예를 들자면 현재 스마트폰용 ARM 프로세서는 실리콘 다이 위에 있는 트랜지스터들 사이의 거리가 불과 28나노미터에 불과하다. 반면에 사람 머리카락 1가닥의 폭은 5만 나노미터에 이른다.

EUV 노광장비는 이를 10나노미터 이하로 가능하게 만든다. 업계를 선도하는 반도체 생산업체들은 2015년 말에 현장에 EUV 노광장비가 설치될 수 있기를 희망하고 있다.

사이머는 현재 50와트 출력으로 EUV 레이저 기기를 테스트하고 있다. 50와트를 넘어서면 웨이퍼 상에 결함이 일어나서 더 높이지는 못하고 있다. 하지만 이 정도의 출력으로는 반도체 생산업체들이 원하는 생산 속도로 웨이퍼를 대량 생산할 수 없다. 생산업체는 250와트의 출력이 필요하다.

사이머와 ASML은 생산 수율을 끌어올리고 출력을 높이기 위해 공동으로 노력할 것이다.

애킨스는 "그리 멀지 않은 장래에 100와트 출력에 도달하여 시험생산에 쓸 정도로 발전시키고 더 나아가 250와트까지 끌어올려 본격적인 상업 생산에 쓸 정도로 발전시키고자 한다. 지금은 목표치보다 2배에서 5배 정도 출력이 낮은 상황이다. 하지만 점차 나아지는 방향으로 가고 있으며 반도체 생산업체들에 최고의 제품으로 다가갈 수 있다는 자신감이 점점 커지고 있다"고 강조했다.

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이게 2013년도에 일어난 일이다.

현재 사이머는 미국뿐만 아니라 일본, 독일, 스위스, 네덜란드에서 박사급 연구원들이 일하고 있으며
오늘날 반도체 산업에서 엄청난 핵심 기업 중의 하나로 분류되고 있다.

한국은 언제쯤이면 사이머 같은 초우량 반도체 소부장 기업이 나올 수 있을까?