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일철린이 오카야마에서 찍어왔다
토요일 아침부터 전철 첫 차타고 히로시마역 가서 N700S 타고 오카야마로 갔다기왕 온거 그린샤나 한번 타겠다고 그린샤 끊고 갔는데 확실히 좋긴 해오카야마역에 도착해서 오카야마에 사는 일본 친구랑 합류했다전날에 이와쿠니에서 같이 전투기 찍은 친군데 얘도 나랑 같은 과라비행기 쪽 촬영은 잘 아는데 철도는 잘 몰라서 둘 다 검색해가며 다녔다나름 유명한 스팟인 오츠 터널터널풍 처음 맞아봤는데 재밌었다노보리가 더 잘 나오고 쿠다리는 별로인 스팟이라쿠다리는 어처피 전신주 때문에 각도 안 나오겠다 세로로 찍어봤음이 땐 아무 생각 없었는데 돌아와서 확인해보니까 저 V8이 저녁에 히로시마로 타고 돌아갈 놈이었음오전 첫번째 목표였던 헬로키티 500계확실히 인기가 좋긴 한지 올 때 쯤 되니까 멀리서 하나 둘씩 철덕들 올라오더라이 때가 벚꽃 만개여서 벚꽃은 이쁘게 폈는데너무 조금만 보여서 아쉬웠다헬로키티만 찍고 두번째 목표인 닥터 옐로우가 오려면 시간이 더 남아있어서 일단 내려와서 편의점에서 밥먹었음이 때가 대략 10시 반이었고 닥터 옐로우가 12시반 쯤 지나갈 것으로 예상되던 상황돌아와서 보니 아까 있던 사람들 다 사라져있더라ㅋㅋㅋㅋ 전부 헬로키티만 찍으려고 왔던 거였음닥터 옐로 들어올 때 이 때 있던 사람들 돌아오진 않던데 정보를 몰랐었나봄이건 패닝 해본다고 야랄 해봤는데 촬영 타이밍 자체가 짧아서 그런지 잘 안 되더라 바로 포기했다닥터 옐로 기다리는 동안 다시 돌아온 헬로키티이 친구 뒤로 닥터 옐로가 달려 오고 있었음한 몇분 기다리니까 저 멀리서 부터 소리가 들렸다이걸 실물로 영접할 줄 이야임마도 올 때 쯤 되니까 차가 한두대씩 들어오면서 또 사람 몰리더라그 사람들도 딱 얘만 찍고 철수함ㅋㅋ어쩌다보니 말문이 터서 현지 철덕하고 얘기 좀 했는데엄청 조그만 렌즈로 철조망 사이로 사진 찍었더라직접 3D프린팅해서 마운트 제작하고 했던데 대단혀 아주이 스팟은 오후부터 역광이라 버리고오후에는 국철같은거 보고 싶어서 하쿠비선 쪽으로 갔다여기도 어디선가 몇번 본거 같은 유명한 스팟이던데오후부터는 구름이 몰려와서 사진이 잘 안 나옴근처 다리에도 사람 많길래 가봤다전선 때문에 좀 가리는 사소한 찐빠가 있긴 했는데 전망도 좋고 모형처럼 나오는게 좋긴 하더라화물도 보고 싶다고 넌지시 말했었는데 진짜 들어옴이 때가 신형 야쿠모 첫 운행날이었는데 신형도 한번 들어왔음난 근데 요새는 퇴역을 앞둔 틀딱들이 더 중요하다고 생각해서 별로 보고 싶진 않았다주변에 철덕들은 이거 들어오자마자 다 철수했음ㅋㅋㅋㅋ우리도 다른 스팟들 여럿 시도해보려고 같이 철수했다그렇게 차타고 이동하다가 사람들 많이 모여있길래 내려서 합류키노야마역인데 그럭저럭 괜찮긴 했음근데 맘에 안 들어서 또 자리 옮김시간 상 여기가 마지막 스팟이 되었는데내가 원하던 그림은 여기도 아니었음나중에 보니까 좀 더 북쪽에 벚꽃하고 철도하고 수평으로 있는 지점이 있더라고거기를 알았으면 거기로 갔을텐데 조금 아쉬운 부분오카야마역에 늦지 않게 도착하려면 철수해야 한다 그래서 이거만 찍고 철수했다그렇게 500계 타고 히로시마로 복귀오카야마역에서 에키벤도 사고 6호차로 예매해서 탑승들어가자마자 8호차 가서 운전대 모형도 좀 만져봄미하라역에 도착해서 한 10분 정도 정차하는 시간이 있었는데그냥 아무 생각없이 앉아 있다가 창문보니까 익숙한 형태가 들어오는거어 시발? 하고 보니까 500계이건 놓칠 수 없다 싶어서 바로 뛰어나감여기서 500계 둘이 만날 줄은 몰랐네시간표 확인 좀 잘할걸 미리 알았으면 미리 준비 하는건데 좀 아쉬웠다어쨌든 히로시마역 도착아까 아침에 봤던 V8이었다히로시마역을 떠나는 500계이게 내 마지막 500계가 될 수도 있어서 안 보일 때까지 찍었다폰으로도 내부 사진같은거 찍어두긴 했는데 보고 싶으면 나중에 올려봄- 일철린이 사진찍어왔다원래 비행기 찍는 찍새인데 비행기 볼려고 일본 가는 김에 알아보니까 동네에 500계가 다니데곧 퇴역한다는 얘기도 들은거 같고 주로 찍는게 전투기라 주말엔 비행도 거의 안 하니까주말엔 철도도 찍어야지 하면서 비행기 촬영 겸 철도 촬영 차 히로시마로 갔다히로시마 베이스로 이와쿠니, 오카야마를 왕복하는 경로였음히로시마에 도착한 첫 날히로시마에 사는 지인하고 합류한 게 5시였는데 6시 쯤에 히로시마역으로 500계 들어온다길래 도착하자마자 입장권 끊고 들어감예쁘긴 해... 예쁜 쓰레기야 진짜길쭉해요나오면서 다음 날에는 이와쿠니로 비행기 찍으러 갈 거라서겸사겸사 500계 타보려고 단 한 정거장 짜리 코다마 끊었다히로시마역으로 들어오는 코다마 835호신이와쿠니역에 도착해서 한 장신이와쿠니역을 이상한데 꼬라박아 놨기 때문에 이와쿠니 시내까지 가려면 니시키가와세이류선을 탈 필요가 있었다이 때는 아직 벚꽃이 만개까진 아니라서 예쁘게 피진 않았는데 나름 명소인가 보더라이게 로컬선 감성이구나 생각했음이와쿠니 다녀오고 다음 날에 비가 와서 비행기 찍는건 안되겠다 싶어서 구레로 갔는데미즈시리역에서 토사 유입 발생해서 구레선 멈췄다는 뉴스 본 게이있냐?거기에 갇힌게 나였다 ㅅㅂ어처피 박물관 같은거만 볼 사람이라 그냥 기다렸는데 그대로 2시간 갇혀있었다같은 처지의 외국인 관광객들한테 통역도 해주면서 좀 친해졌는데 얘들도 관광객이라 시간 많다고 그냥 기다림ㅋㅋ중간에 어떤 틀딱 할배가 기관사한테 왜 히로시마로 안 돌아가냐며 막 뭐라 했는데 아무 말도 못 하고 스미마셍만 하는건 불쌍했다이건 또 다른 날의 신이와쿠니역금요일이라 비행이 일찍 끝나서 시간도 남겠다 킨다이교 보고 같이 간 일본 친구한테 어처피 근처에 신이와쿠니역인데거기서 500계나 보자고 해서 같이 들어갔다N700계랑 700계18시 20분 쯤에 들어와서 빛이 많이 없어서 그런가 예쁘게 안 나오더라아쉬운 부분잘 생기긴 했는데 하~같이 간 일본 친구랑 토요일은 비행도 거의 안 하겠다 오카야마에서 철도 찍기로 약속했었던 지라 토요일은 아침부터 오카야마로 향했다내가 일본 가기 전에 닥터 옐로 볼 수 있으면 좋겠다고 했는데 어떻게 우연히도 토요일에 운행한다 길래 바로 찍으러 갔다오전엔 오츠 터널, 오후엔 하쿠비선 찍고 저녁엔 500계 타고 히로시마 복귀였는데근데 사진 갯수 제한이 걸리네 아ㅋㅋ
작성자 : Hornet고정닉
신기방기 EUV 장비에서 사용되는 기술
이 글보고 문득 생각나서 써보는 글임반도체 장비 기업 ASML은 누구나 한번쯤 들어보았을 것이다이 기업이 반도체 업계에서 슈퍼 을로 통하고 있다는데 그 이유는 바로 EUV장비를 여기에서 밖에 만들지 못하기 때문임EUV(Extreme UltraViolet) 장비는 이름 그대로 극자외선을 이용하는 장비인데그 EUV를 이용해서 원하는 회로패턴을 웨이퍼에 새기는 작업을 함최첨단 반도체 생산을 위해서 반드시 필요한게 EUV장비인데 그걸 ASML이 독점생산하고 있으니아무리 비싸고 만드는데 오래걸려도 반도체 기업들이 줄을 서서 사려고 하는 것임근데 그렇게 중요한 장비라면 왜 다른 기업에서 만들려고 하지 않는 것일까?EUV 장비에서 사용하는 신기한 기술들 몇개를 보면서 그 이유를 알아보자1. 광원 생성EUV를 이용하는 장비이니 당연히 EUV를 생성하는 기능이 있다.하지만 EUV는 13.5nm로 굉장히 짧은 파장을 가지는데이런 빛을 만들기 위해서는 독특한 방법이 필요하다바로 주석(Sn)을 플라즈마화 시키는 것이다.위 움짤을 보면 움직이는 주석 방울에 레이저가 두번 맞는걸 볼 수 있다초속 70미터의 속도로 융용 주석 방울이 발사되면그걸 첫번째 저강도 레이저가 맞혀서 주석 방울을 넓게 퍼뜨려 평평하게 만든다그리고 두번째 고강도 레이저가 맞혀서 주석을 플라즈마로 만들고 EUV를 방출시킨다그리고 이 과정을 초당 5만번 반복한다이렇게 만들어진 빛은 거울로 모아서 웨이퍼로 향하는 광학계로 보내진다2. 광학계EUV 장비 속 광학계, 위에서 움직이는 게 레티클, 아래에서 움직이는게 웨이퍼다EUV의 특성상 극도로 흡수가 잘되기 때문에 광학계에 렌즈는 거의 사용하지 못하고주로 흡수율이 낮은 특수한 거울만든다물론 공기에도 흡수되기때문에 내부는 진공임이 광학계의 정확도는 지구에서 쏜 빛으로 달에 있는 100원 동전을 맞힐 수준이다3.레티클(마스크)레티클, 마스크라고도 하는데 회로패턴이 새겨진 유리판이다일반적인 마스크는 투과형으로 빛이 통과하면서 그 패턴을 가져가는데EUV는 흡수가 되기때문에 마스크도 반사형으로 만들어야한다이 레티클은 빛의 간섭을 이용하는 다층 반사기로 패턴을 구현하였으며레티클을 움직이는 레티클 스테이지는 최고속력 3.2m/s의 관성을 완벽히 상쇄하며웨이퍼 스테이지와 완벽히 동시에 움직여 그 패턴을 새긴다동시에 두 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 스테이지,진공상태를 유지하는 배기시스템이나 온도를 관리하는 쿨링시스템 등그 외 여러가지 기술들이 있지만EUV에서 사용하는 기술들 말고도 ASML이 사용하는 신기한 기술들은 또 있다움직이는 웨이퍼와 렌즈 사이의 공기층을 물로 채워 노광작업을 진행시키는 액침노광기술(공기보다 높은 굴절률을 이용해서 더 좋은 해상도를 구현한다)4096개의 미세거울을 컨트롤해서 렌즈없이 원하는 조명패턴을 만들어내는FlexRay기술등이 있다(간섭패턴에 영향을 줘서 빛의 세기를 높일 수 있음)
작성자 : ㅇㅇ고정닉
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